German to Russian Tech/Engineering Engineering: Industrial Способ для предварительной обработки подложек для нанесения покрытия осаждением паров

Bis anhin musste die geschädigte Schicht durch einen längeren Ätzschritt in der Beschichtungskammer entfernt werden, damit die Schichthaftung gewährleistet werden konnte. Wie der Erfinder des Weiteren festgestellt hat, ist dieser Heilungsprozess besonders im Falle von Schneidkanten und insbesondere bei Wendeschneidplatten durch den erhöhten Ionenbeschuss an der Schneidkante der Substrate sehr wirkungsvoll. Eine mögliche Erklärung ist, dass die Erhöhung des Ionenbe- schusses durch die Feldüberhöhung bei Anlegen eines Bias an Geometrien mit kleinem Kantenradius verursacht wird. Dies wurde hier am Beispiel der Kobaltdiffusion erläutert, trifft aber im Wesentlichen auch auf andere Arten von thermisch gesteuerten „Ausheilprozessen" an der Substratoberfläche zu.